[发明专利]四探针电阻测试装置

摘要

本发明公开了一种四探针电阻测试装置，该四探针电阻测试装置包括由管筒夹活动连接在一起的测阻探针组件和样品台组件，测阻探针组件上设置有测阻探针，样品台组件上设置有样品台，测阻探针在管筒夹的咬合力作用下紧紧抵在样品台的上表面。本发明的四探针电阻测试装置对电阻的测试为接触式测试，避免了传统四探针电阻测试方法中用银浆粘接的方式，一方面，不会污染待测样品，使待测样品可以继续使用或者进行二次测试；另一方面，避免了银浆粘接造成的四探针位置不能准确控制，提高测量精度；同时，测量温度不再受银浆的氧化温度限制，理论上测试温度可以达到铂丝的熔点1680℃。

主权项

一种四探针电阻测试装置，其特征在于：包括管筒夹、测阻探针组件和样品台组件，测阻探针组件和样品台组件通过管筒夹活动连接在一起；测阻探针组件包括水平陶瓷管、竖直陶瓷管、紧固件和镍丝，竖直陶瓷管通过镍丝、紧固件与水平陶瓷管的一端固定相连，水平陶瓷管的另一端与管筒夹固定连接；所述竖直陶瓷管内部设置有四个位于同一条直线上的通孔，每个通孔内均设置有一根测阻探针，测阻探针为一端打磨为针尖状、另一端折成直角的铂铱丝，打磨成针尖状的一端穿过竖直陶瓷管上所设置的通孔且针尖露出竖直陶瓷管管口；所述水平陶瓷管内部设有四个大小相同的通孔，每个通孔内均设置于一根铂铱丝，每根铂铱丝的一端与测阻探针折成直角的一端固定相连，另一端露出水平陶瓷管管口；样品台组件包括水平陶瓷管、样品台、紧固件和镍丝，所述样品台设置在紧固件上，紧固件通过镍丝与水平陶瓷管的一端固定相连，水平陶瓷管的另一端与管筒夹固定相连；所述竖直陶瓷管的中心与管筒夹中心的距离和样品台中心与管筒夹中心的距离相等，在管筒夹咬合力的作用下测阻探针抵在样品台的上表面上。