[发明专利]皮秒激光加工设备有效
| 申请号： | 201310527097.7 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104043899B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 尹永俊;金志勋;田民镐;金英培 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 鲁恭诚;王彬 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种皮秒激光加工设备，所述皮秒激光加工设备包括：皮秒激光器，被构造为输出皮秒激光束；相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路径上，所述相位差控制器被构造为改变所述皮秒激光束的相位差。 | ||
| 搜索关键词： | 激光束 皮秒激光加工设备 相位差控制器 激光加工设备 皮秒激光器 相位差 种皮 输出 | ||
【主权项】：
1.一种皮秒激光加工设备，包括：皮秒激光器，被构造为输出第一皮秒激光束；相位差控制器，位于所述第一皮秒激光束的路径上，并且所述相位差控制器被构造为连续地改变所述第一皮秒激光束的相位差，其中，相位差控制器将第一皮秒激光束改变成第二皮秒激光束，第二皮秒激光束具有与第一皮秒激光束不同的相位差，其中，相位差控制器包括相位延迟膜，所述相位延迟膜将第一皮秒激光束的相位差改变为四分之一波长的相位差，其中，所述相位延迟膜被构造为每分钟旋转800到1600次，其中，第一皮秒激光束的偏振状态是线偏振，其中，第二皮秒激光束的偏振状态包括圆偏振和椭圆偏振。
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