[发明专利]一种氧化锌纳米线阵列紫外光电探测器的制备方法

摘要

本发明公开了一种基于氧化锌纳米线阵列的紫外光电探测器，属于光电子器件领域。本发明利用化学气相沉积技术，通过调节双温区管式炉装中真空压力等实验参数，在氮化镓衬底上实现氧化锌纳米线阵列的均匀可控生长，然后利用透明导电玻璃直接贴压法，得到对365nm紫外光具有毫秒量级的快速响应和恢复时间的紫外光电探测器。本方法工艺简单，材料成本低廉，在快速紫外光电传感器和短波长光电器件领域有广泛的运用前景。

主权项

一种氧化锌纳米线阵列紫外光探测器的制备方法，其特征在于包括：1）利用化学气相沉积法，在本征或者p型导电的氮化镓薄膜上生长氧化锌纳米线阵列；2）用导电玻璃和所述氧化锌纳米线阵列直接接触。