[发明专利]一种面内剪切型压电敏感元件及其制作方法无效
| 申请号： | 201310469833.8 | 申请日： | 2013-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN103526292A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 周文松;李惠;袁富国 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C30B29/22 | 分类号： | C30B29/22;G01H11/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150090 黑龙江省哈尔滨市*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供一种面内剪切型压电敏感元件及其制作方法，方法如下：采用弛豫铁电单晶材料，首先将晶体沿[011]方向，即Z向极化，然后切割出垂直于该方向的平面(011)，该平面由坐标轴X和Y表示，在该平面沿与坐标轴夹角45度方向切割正方体晶片，切割得到正方体晶片之后，在其上下表面制作电极，得到内剪切型压电敏感元件，所述的[001]、[010]、[100]及[011]为晶体学中表示晶向的密勒指数，(011)表示晶面的密勒指数，[011]方向与(011)面相互垂直，x，y，z表示原晶体所置于的坐标系，其中z向为晶体的生长方向。本发明具有体积微小，可永久固定于结构表面或嵌入内部的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 剪切 压电 敏感 元件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种面内剪切型压电敏感元件的制作方法，其特征在于，方法如下：采用弛豫铁电单晶材料，首先将晶体沿[011]方向极化，该方向定义为坐标轴Z，然后切割出垂直于该方向的平面(011)，该平面由坐标轴X和Y表示，在该平面沿与坐标轴夹角45度方向切割正方体晶片，切割得到正方体晶片之后，在其上下表面制作电极，得到面内剪切型压电敏感元件，所述的[001]、[010]、[100]及[011]为晶体学中表示晶向的密勒指数，(011)表示晶面的密勒指数，[011]方向与(011)面相互垂直，x，y，z表示原晶体所置于的坐标系，分别对应[100]、[010]和[001]方向，其中z向为晶体的生长方向。
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