[发明专利]一种锥形电致动聚合物驱动的单腔微泵

摘要

一种锥形EAP驱动的单腔微泵，其上泵盖（3）的两边开有进口（15）和出口（16），上泵盖正中位置开中间大孔（17）。泵体（2）上开有进、出口缓冲腔（7、11），一个泵腔（13）。进口（15）和出口（16）分别和进、出口缓冲腔（7）和（11）连通。泵腔（13）与进、出口缓冲腔（7）、（11）之间分别由进、出口锥形流道（14）和（12）沟通。上泵盖（3）的底面开有上环形槽（9），泵体（2）的上表面开有下环形槽（18）。上、下环形铜片电极（6）和（19）分别安置在上、下环形槽（9、18）里。电致动聚合物薄膜（10）放置在上、下环形铜片电极（6、19）之间。

主权项

一种锥形电致动聚合物驱动的单腔微泵，其特征在于，所述的微泵包括泵体(2)，上、下泵盖(3、1)，凹形支架(4)，预载荷弹性元件(5)，预载荷圆盘(8)，上环形铜片电极(6)、下环形铜片电极(19)，以及电致动聚合物薄膜(10)；所述的泵体(2)位于上泵盖(3)和下泵盖(1)之间，按照上泵盖(3)、泵体(2)、下泵盖(1)的顺序组装在一起；所述的凹形支架(4)倒扣安装在上泵盖(3)的上方；预载荷弹性元件(5)的一端固定在支架(4)上，另一端接在预载荷圆盘(8)上；预载荷圆盘(8)粘贴在电致动聚合物(EAP)薄膜(10)的下方；上泵盖(3)的底面开有上环形槽(9)，泵体(2)的上表面开有下环形槽(18)；上环形铜片电极(6)安置在上环形槽(9)内，下环形铜片电极(19)安置在下环形槽(18)内；所述的电致动聚合物薄膜(10)夹在上环形铜片电极(6)和下环形铜片电极(19)之间；上环形铜片电极(6)和下环形铜片电极(19)作为电致动聚合物薄膜(10)的电极和直流高压发生器相连；所述的上泵盖(3)的两端开有进口(15)和出口(16)，上泵盖(3)的正中位置开中间大孔(17)；所述泵体(2)的两端开有进口缓冲腔(7)和出口缓冲腔(11)，泵体(2)的正中位置开有泵腔(13)，所述的泵腔(13)与上泵盖(3)的中间大孔(17)相对；所述的进口(15)和进口缓冲腔(7)连通，所述的出口(16)和出口缓冲腔(11)连通；所述泵腔(13)与进口缓冲腔(7)和出口缓冲腔(11)之间分别由进口锥形流道(14)和出口锥形流道(12)沟通。