[发明专利]半导体设备的远程控制中基于标签的通信方法有效
| 申请号： | 201310463037.3 | 申请日： | 2013-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN103513639A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 周炳君 | 申请（专利权）人： | 周炳君 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H04L29/06 |
| 代理公司： | 江苏永衡昭辉律师事务所 32250 | 代理人： | 王斌 |
| 地址： | 214200 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种半导体设备的远程控制中基于标签的通信方法，先建立SECS信息模板集合，然后建立设备端和主机端的SECS连接，再进行设备端和主机端之间的SECS信息发送和接收。SECS信息模板集合包括设备端SECS信息模板集合和主机端SECS信息模板集合，设备端SECS信息模板集合包括多个设备端SECS信息模板，设备端SECS信息模板分别为每个生产功能配置，主机端SECS信息模板集合包括多个主机端SECS信息模板集合，SECS信息模板包括生产功能所对应的国际SEMI标准E5中的SECS信息格式及必需具有的所有标签，所有标签包括一个信息标签和必需具有的所有变量数据项标签，必需具有的所有变量数据项标签是指该SECS信息格式拥有的所有变量数据项标签，每个变量数据项必需被赋予一个变量数据项标签。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 远程 控制 基于 标签 通信 方法 | ||
【主权项】：
一种半导体设备的远程控制中基于标签的通信方法，其特征在于，先建立SECS信息模板集合，然后建立设备端和主机端的SECS连接，再进行设备端和主机端之间的SECS信息发送和接收。
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