[发明专利]立式液相外延炉有效
| 申请号： | 201310453348.1 | 申请日： | 2013-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN103526281A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 张海林;崔慧敏;臧一平 | 申请（专利权）人： | 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B19/00 | 分类号： | C30B19/00 |
| 代理公司： | 山东清泰律师事务所 37222 | 代理人： | 宁燕 |
| 地址： | 266100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种立式液相外延炉，其特征在于它主要包括机架、升降机构、工作杆、取放料腔、过渡腔、工艺腔；其中升降机构固定在机架上，升降机构通过轴承单元与工作杆相连；取放料腔、过渡腔、工艺腔通过真空阀门自上至下顺次密封连接，形成密闭腔体；工作杆密封性通入取放料腔、过渡腔、工艺腔内；取放料腔上设置取放料密封门；过渡腔上设置真空抽口和充气口；其优点在于进行外延膜生长的工艺腔相对为独立空间，晶片进行放入、更换、取出时均在取放料腔内进行，无需对工艺腔内气体做功，从而减少了能源消耗，缩短了产品制造时间，提高了工作效率，降低了生产成本，且可使整个设备仅设置一处真空抽口，简化设备。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 外延 | ||
【主权项】：
一种立式液相外延炉，其特征在于它主要包括机架、升降机构、工作杆、取放料腔、过渡腔、工艺腔；其中升降机构固定在机架上，升降机构通过轴承单元与工作杆相连；取放料腔、过渡腔、工艺腔通过真空阀门自上至下顺次密封连接，形成密闭腔体；工作杆密封性通入取放料腔、过渡腔、工艺腔内；取放料腔上设置取放料密封门；过渡腔上设置真空抽口和充气口。
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