[发明专利]自动搬送系统无效
| 申请号： | 201310447606.5 | 申请日： | 2013-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN103466324A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 唐国强;计军 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于自动搬送系统，其包括矩阵状设备，每个设备具有的堆叠部以及硅片盒存取机构；每个设备堆叠部所在的设备走道有且仅有一条轨道布设；至少一辆输送车；以及控制单元。本发明采用以上技术方案，提供一种新的自动搬送系统，大大减少了轨道数量，使轨道结构相较现有技术更加简单，系统空间顶部如天花板的负荷也大大减小，提高了安全性；节省了到每个设备存取的时间，使其一直在主干轨道上运行，提高搬送系统的整体搬送效率；减少了控制单元的运算负担，保证了系统的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 系统 | ||
【主权项】：
一种自动搬送系统，其特征在于，其包括：多个设备，呈矩阵状布设，每个设备都具有堆放硅片盒的堆叠部以及将硅片盒在堆叠部和该堆叠部所在设备走道之间往来运输的存取机构；轨道结构，其具有多条相互连通的轨道并悬垂固定于系统空间的顶部，每个设备堆叠部所在的设备走道有且仅有一条轨道布设；至少一辆输送车，悬挂于于轨道结构上并可沿着轨道行进；以及控制单元，与该设备和输送车信号连接。
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