[发明专利]导线图案化有效
| 申请号： | 201310439610.7 | 申请日： | 2013-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN104252555B | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 刘如淦;谢东衡;蔡宗杰;吴俊毅;李亮峣;丁至刚 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H01L27/02 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 | 代理人： | 章社杲,孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供的方法包括在布局中放置两条导线。在布局中的两条导线的至少一部分上方放置两条切割线。切割线表示两条导线的切割部分，且在制造工艺限制内切割线彼此间隔开。在布局中连接两条切割线。在物理集成电路中，使用两条连接的平行切割线在衬底上方图案化两条导线。两条导线具有导电性。本发明提供了一种导线结构以及一种计算机可读介质。 | ||
| 搜索关键词： | 导线 图案 | ||
【主权项】：
一种用于制造导线结构的方法，包括：在布局中放置两条模制导线；在所述布局中的所述两条模制导线的至少一部分上方放置两条切割线，所述切割线指定所述两条模制导线的切割部分，并且所述切割线在制造工艺限制内彼此隔离；在所述布局中连接所述两条切割线；以及使用所连接的所述两条切割线，对设置在物理集成电路中的衬底上方的两条物理导线进行图案化。
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