[发明专利]一种多晶硅行业废气水洗处理方法及装置

摘要

本发明提出一种多晶硅生产过程中产生的含氯硅烷废气水洗处理方法及装置。其包括废气缓冲罐，与废气缓冲罐的入口连接的含氯硅烷废气供应管路，与废气缓冲罐的出口连接的正常废气喷淋系统、事故废气喷淋系统及应急水洗系统。本发明将含氯硅烷的废气送入喷淋塔，用10～30％氢氧化钠喷林洗涤。喷淋后产生的气体经水封罐排入大气。此方法有效解决了氯化氢逃逸的问题，并解决了传统水洗会产生二氧化硅堵塞管道的问题，实现环保治理的无害化。本发明装置既能有效地对氯硅烷废气进行无害化处理，又能有效减少氯化氢逃逸，反应产生的硅酸钠也相对便于清除。

主权项

一种多晶硅行业废气水洗处理装置，其特征在于，该装置包括废气缓冲罐（1），与废气缓冲罐（1）的入口连接的含氯硅烷废气供应管路，与废气缓冲罐（1）的出口连接的正常废气喷淋系统、事故废气喷淋系统及应急水洗系统；所述的正常废气喷淋系统包括正常废气喷林塔一（2）和正常废气喷林塔二（6），虹吸罐一（8）和虹吸罐二（15）、正常废气喷淋循环泵一（7）和正常废气喷淋塔循环泵二（16）及碱液池一（9）和碱液池二（14）；其中，废气缓冲罐（1）的出口与正常废气喷林塔一（2）的入口相连，正常废气喷林塔一（2）的出口与碱液池一（9）的入口相连，虹吸罐一（8）的入口与碱液池一（9）的出口相连，虹吸罐一（8）的出口与正常废气喷淋循环泵一（7）的入口相连，正常废气喷淋循环泵一（7）的出口与正常废气喷淋塔一（2）塔顶的喷淋口相连；废气缓冲罐（1）的出口与正常废气喷林塔二（6）的入口相连，正常废气喷林塔二（8）的出口与碱液池二（14）的入口相连，虹吸罐二（15）的入口与碱液池二（14）的出口相连，虹吸罐二（15）的出口与正常废气喷淋塔循环泵二（16）的入口相连，正常废气喷淋塔循环泵二（16）的出口与正常废气喷林塔二（6）塔顶的喷淋口相连；所述的事故废气喷淋系统包括事故废气喷淋塔一（3）和事故废气喷林塔二（5），虹吸罐三（10）和虹吸罐四（13）、事故废气喷淋塔循环泵一（11）和事故废气喷淋塔循环泵二（12）；其中，废气缓冲罐（1）的出口与事故废气喷淋塔一（3）的入口相连，事故废气喷淋塔一（3）的出口与碱液池一（9）的入口相连，虹吸罐三（10）的入口与碱液池一（9）的出口相连，虹吸罐三（10））的出口与事故废气喷淋循环泵一（11）的入口相连，事故废气喷淋循环泵一（11）的出口与事故废气喷淋塔一（3）塔顶的喷淋口相连；废气缓冲罐（1）的出口与事故废气喷淋塔二（5）的入口相连，事故废气喷淋塔二（5）的出口与碱液池二（14）的入口相连，虹吸罐四（13）的入口与碱液池二（14）的出口相连，虹吸罐四（13）的出口与事故废气喷淋塔循环泵二（12）的入 口相连，事故废气喷淋塔循环泵二（12）的出口与事故废气喷林塔二（5）塔顶的喷淋口相连；所述的应急水洗系统包括事故废气输送管线和应急水洗池一（17）、应急水洗池二（18）；其中，废气缓冲罐（1）的出口通过多根管线进入应急水洗池一（17）和应急水洗池二（18）液面一下；所述的正常废气喷林塔一（2）和正常废气喷林塔二（6）的塔顶出气口、事故废气喷淋塔一（3）和事故废气喷林塔二（5）的塔顶出气口连接水封罐（4）的入口，水封罐（4）的出气口与大气相通。