[发明专利]一种新型的石墨烯电光调制器结构有效
| 申请号： | 201310431112.8 | 申请日： | 2013-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN103439808A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 刘永;唐林峰;袁飞;叶胜威;唐雄贵 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035 |
| 代理公司： | 成都华典专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 徐丰;杨保刚 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种新型的石墨烯电光调制器结构，包括石墨烯脊型光波导、硅层和二氧化硅基片，二氧化硅基片上沉积所述硅层，再在硅层上平行设置两条石墨烯脊型光波导；通过对基于石墨烯的波导施加驱动电压，调控石墨烯对光的吸收状态，使波导之间发生0~100%的光功率耦合变化，以实现对光的调制。本发明采用简单的石墨烯脊型波导结构，制作工艺上十分简单，与其它结构类型的石墨烯电光调制器相比能够获得更高的消光比。本发明提供新型的石墨烯电光调制器结构具有具有器件小型化、集成化、超高速的潜在优势，在光纤通信和光互连系统中有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 石墨 电光 调制器 结构 | ||
【主权项】：
一种新型的石墨烯电光调制器结构，其特征在于，包括石墨烯脊型光波导、硅层和二氧化硅基片，二氧化硅基片上沉积所述硅层，再在硅层上平行设置两条石墨烯脊型光波导；所述石墨烯脊型光波导由两层厚度相等的硅波导层和二氧化硅基片构成，硅波导层制作在二氧化硅基片上，硅波导层间区域设有两层石墨烯层和三层氧化铝隔离层，从上而下的顺序为氧化铝隔离层、石墨烯层、氧化铝隔离层、石墨烯层、氧化铝隔离层。
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