[发明专利]Mirau型物镜及使用该物镜的Mirau白光干涉显微镜和测量系统在审
| 申请号： | 201310426690.2 | 申请日： | 2013-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN103676121A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 徐长春;陶纯堪 | 申请（专利权）人： | 徐长春 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G01B9/04;G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 徐冬涛 |
| 地址： | 210012 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种Mirau型物镜及使用该物镜的Mirau白光干涉显微镜和测量系统，使用Mirau型物镜的白光干涉显微镜是一台光路不失调能长期稳定工作的干涉显微镜，并且实现数字化自动控制，实现了10x、20x以至50x等一系列放大倍率的Mirau型物镜加工和装配工艺技术。本发明对第一干涉板上反射圆斑的位置、第一和第二干涉板厚度、第一和第二干涉板的位置及它们上表面的平行性作了限定，对第一和第二干涉板的沿光轴的距离也作了限定，使得本系统能准确快速调试出能提供质量优良干涉图的Mirau型物镜和以它为基础的Mirau白光干涉显微镜。从调试出干涉图的快速性，干涉图的色彩鲜明性和干涉图的对比度，不亚于国外同类仪器。 | ||
| 搜索关键词： | mirau 物镜 使用 白光 干涉显微镜 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种Mirau型物镜，包括显微镜头、第一干涉板和第二干涉板；第一干涉板和第二干涉板平行放置在显微镜头的下方，且与显微镜头的光轴垂直；第一干涉板在显微镜头和第二干涉板之间；第一干涉板上表面中心设有反射圆斑，反射率100%，第二干涉板的上表面镀有分光膜，该分光膜的反射率是10%～30%；其特征是所述的第一干涉板上表面中心的反射圆斑同时也位于第二干涉板的中心轴线上和显微物镜OB的光轴上，且第一干涉板上表面和第二干涉板上表面互相平行。
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