[发明专利]碱可溶性树脂及其制备方法有效
申请号: | 201310407054.5 | 申请日: | 2013-09-09 |
公开(公告)号: | CN103467646A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 常珊;张卓;王雪岚;唐琛 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C08F220/14 | 分类号: | C08F220/14;C08F220/18;C08F220/06;C08F220/32;G03F7/004;G03F7/027 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 柴亮;张天舒 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种碱可溶性树脂及其制备方法,属于高分子材料技术领域,其可解决现有的碱可溶性树脂及其制备的感光组合物显影性能差的问题。本发明通过高活性不饱和单体将四氢呋喃基(柔性官能团)引入到碱可溶性树脂中,提高了碱可溶性树脂的显影性能,获得了无侧壁侵蚀现象的表面光滑的光刻胶膜层。 | ||
搜索关键词: | 可溶性 树脂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种碱可溶性树脂,所述的碱可溶性树脂由不饱和羧酸类组分聚合制备,其特征在于,所述的不饱和羧酸类组分包括带有四氢呋喃结构的不饱和羧酸酯类化合物。
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