[发明专利]一种光谱椭偏仪中氙灯光源的光强平滑处理装置及方法

摘要

本发明公开了一种应用到光谱椭偏仪中的氙灯光线光强平滑处理装置及方法。该光强平滑处理装置包括准直透镜、汇聚透镜和光阑，准直透镜为消色差透镜，用于将待处理的氙灯光线准直为平行光束；汇聚透镜为单透镜，用于将平行光束汇聚聚焦，汇聚后的光斑大小随波长的增加而增大；光阑设置在汇聚透镜后并间隔一定波长焦距位置处，通过设定该光阑的大小使紫外波段的光斑可透过该光阑而可见到近红外波段的光斑被阻挡，从而减小可见到近红外波段的光束光强，实现平滑。本发明还公开了一种氙灯光线光强平滑处理方法。本发明没有损失任何波段的光线，探测器或者光谱仪可以正常响应全光谱范围的光线，从而可以光谱椭偏仪从紫外到近红外全光谱范围内的高精度测量。

主权项

一种光谱椭偏仪中氙灯光源的光强平滑处理装置，用于对氙灯光源的光线强度进行平滑处理，以适于从紫外到近红外的宽光谱范围的应用，其特征在于，该装置包括依次布置于同一光路上的准直透镜（12）、汇聚透镜（13）和光阑（14），其中，所述准直透镜（12）为消色差透镜，其用于将待处理的氙灯光线准直为平行光束；所述汇聚透镜（13）为单透镜，其在不同波长下具有不同的焦距，用于将所述平行光束汇聚聚焦，且汇聚后的光斑大小随波长的增加而增大；所述光阑（14）设置在汇聚透镜后并间隔一定波长焦距位置处，通过设定该光阑（14）的大小使紫外波段的光斑可透过该光阑（14）而可见到近红外波段的光斑被阻挡，从而减小可见到近红外波段的光束光强，实现氙灯光源输出光束光强曲线的平滑。