[发明专利]内嵌式金属网栅的电磁屏蔽光窗的制备方法有效
| 申请号： | 201310380357.2 | 申请日： | 2013-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN103442544A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 张龙;居永凤;姜雄伟;范有余;袁新强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H05K9/00 | 分类号： | H05K9/00;C03C17/06 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种内嵌式金属网栅的电磁屏蔽光窗的制备方法，该方法包含以下几个步骤：①飞秒激光刻蚀，②热处理和③镀铜。该方法不但能够在平面红外光窗实现电磁屏蔽，还可以在曲面红外光窗上实现电磁屏蔽。本发明适用于遥测遥感、医疗诊断、保密通讯、航天航空等电磁屏蔽。 | ||
| 搜索关键词： | 内嵌式 金属网 电磁 屏蔽 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种内嵌式电磁屏蔽光窗的制备方法，特征在于该方法包括如下步骤：①飞秒激光刻蚀：利用飞秒激光在掺杂了银离子的红外玻璃表面扫描刻蚀，形成周期性网栅凹槽；该凹槽的线宽大于1μm，深度为1～10μm，周期小于电磁屏蔽的电磁波段的最小波长的二分之一；②热处理：对飞秒激光加工过的红外玻璃在300～600℃进行4～8小时热处理；③镀铜：将样品放入化学镀铜液中进行镀铜0.5～3小时。
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