[发明专利]速熔缓长晶高效多晶硅铸锭工艺无效
| 申请号： | 201310348274.5 | 申请日： | 2013-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN103436956A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 谭毅;熊华江;王峰;李鹏廷;刘燕;黄佳琪;刘东雷;安广野 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于多晶硅铸锭领域，具体涉及一种速熔缓长晶高效多晶硅铸锭工艺，包括装料抽真空并预热、熔化保温、长晶、退火、降温和开方，其中，熔化保温和长晶阶段按照以下步骤进行：向铸锭炉内通入氩气作为保护气，然后加热升温，使得石英坩埚内温度在4～5h内达到1545～1560℃并保温7～8h，然后经0.5h降温到1440℃；石英坩埚内温度从1440℃经过29h降低到1420℃，完成多晶硅铸锭的中央长晶阶段，再经过3h降温到1410℃完成多晶硅铸锭的边角长晶阶段。本发明的优点在于：（1）太阳能电池片的光电转换效率能够从17.1%提高到17.4%；（2）多晶硅铸锭质量提高的同时，缩短了整个工艺的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 速熔缓长晶 高效 多晶 铸锭 工艺 | ||
【主权项】：
一种速熔缓长晶高效多晶硅铸锭工艺，包括装料抽真空并预热、熔化保温、长晶、退火、降温和开方，其特征在于熔化保温和长晶阶段按照以下步骤进行：（1）熔化保温：向铸锭炉内通入氩气作为保护气，然后加热升温，使得石英坩埚内温度在4～5h内达到1545～1560℃并保温7～8h，然后经0.5h降温到1440℃；（2）长晶：石英坩埚内温度从1440℃经过29h降低到1420℃，完成多晶硅铸锭的中央长晶阶段，再经过3h降温到1410℃完成多晶硅铸锭的边角长晶阶段。
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