[发明专利]微粒物质检测元件、配备有该元件的微粒物质检测传感器以及用于制造该元件的方法

摘要

本发明公开了一种微粒物质检测元件、配备有该元件的微粒物质检测传感器以及用于制造该元件的方法。具体而言，一种PM检测元件具有检测电极的对。每个检测电极具有没有分支的导电路径，并且由检测电极接合部和检测电极平行部构成。检测电极平行部相互面对，并且被经由绝缘层分离开预定的间隙。PM检测传感器具有PM检测元件，并且线路故障检测电路部检测每个检测电极的一个端子到另一端子之间的电阻值，并且基于所检测的电阻值来检测检测电极中的线路故障的发生。

主权项

一种包括微粒物质检测元件（2、2a、2b、2c、2d）的微粒物质检测传感器（1、1a、1b、1c、1d），并且所述微粒物质检测元件（2、2a、2b、2c、2d）包括在检测部（10、10a、10b、10c、10d）上形成的检测电极（ELA、ELB）的对，所述检测电极（ELA、ELB）被布置为相互面对并且被分离开预定的间隙，所述检测电极（ELA、ELB）捕获目标检测气体中所包含的微粒物质，检测形成在所述检测部（10、10a、10b、10c、10d）上的所述检测电极（ELA、ELB）之间的电气特性，并且所述电气特性基于所捕获的和在所述检测部（10、10a、10b、10c、10d）上所积聚的微粒物质的量而变化，其中，每个所述检测电极（ELA、ELB）都包括：检测电极平行部（100A、100B），所述检测电极平行部（100A、100B）相互面对并且经由在所述检测部（10）上的绝缘层（120）而被分离开所述预定的间隙；以及检测电极接合部（101A、101B、101Ad、101Bd），经由所述检测电极接合部（101A、101B、101Ad、101Bd），所述检测电极平行部（100A、100B）被连接到每个所述检测电极（ELA、ELB），并且**每个所述检测电极（ELA、ELB）都形成从第一端子（103A、103B、103Ac、103Bc、103Ad、103Bd）到第二端子（104A、104B、104Ac、104Bc、104Ad、104Bd）的不具有分支的导电路径，其中，所述微粒物质检测传感器还包括线路故障检测部（301A、301Aa、301Ab、301B、301Ba、301Bb），并且所述线路故障检测部（301A、301Aa、301Ab、301B、301Ba、301Bb）检测每个所述检测电极（ELA、ELB）的从所述第一端子（103A、103B、103Ac、103Bc、103Ad、103Bd）到所述第二端子（104A、104B、104Ac、104Bc、104Ad、104Bd）的所述导电路径的电阻值，并且基于所检测的电阻值来检测每个所述检测电极（ELA、ELB）中的线路故障的发生。