[发明专利]一种高数值孔径浸没投影物镜

摘要

本发明提供一种高数值孔径浸没投影物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内；该浸没投影物镜，沿其光轴方向包括平行平板组、第一透镜组、反射镜组和第二透镜组；从光束入射方向顺序平行平板组具有一个平行平板，第一透镜组具有正光焦度，反射镜组具有负光焦度，第二透镜组具有正光焦度。本发明的高数值孔径浸没投影镜组能更好地补偿像差，提升成像质量，并提升了所述物镜的分辨力，同时提高光刻效率。

主权项

一种高数值孔径浸没投影物镜，其特征在于：所述浸没投影物镜包括：从光束入射方向依次置有平行平板组、第一透镜组、反射镜组和第二透镜组；其中：平行平板组没有光焦度；第一透镜组是复杂化的双高斯结构，具有正光焦度，第一透镜组对物方图形成一次中间像，该中间像位于反射镜组的第一块反射镜之前；反射镜组具有负光焦度，并对物方图形成第二次中间像，用于校正所述物镜的场曲以及缩小其体积；第二透镜组具有正光焦度，将中间像成像在所述物镜的焦面处；物面发出的远心光束通过平行平板组，并入射到第一透镜组；平行平板组用作保护玻璃；第一透镜组具有双高斯结构，是对第一透镜组的输入光束进行成像，即形成第一次中间像，以便光束能顺利通过反射镜组的第二反射镜而不被遮挡；另一方面，第一透镜组对所述物镜产生的场曲，和反射镜组的第一反射镜，以及反射镜组的第二反射镜产生的场曲相补偿；反射镜组用于将输入光束实现两次反射折转，并在所述物镜中产生负的场曲用以实现补偿，从而减小所述物镜内的所有透镜的口径以及其几何尺寸；所述透镜组用于0.25倍率、1.35数值孔径的实现；最后，物面的光束通过平行平板组、第一透镜组、反射镜组和第二透镜组之后，再通过浸没液，在硅片面上形成物面的缩小像。