[发明专利]石墨助凝块多晶硅锭炉无效
申请号: | 201310320460.8 | 申请日: | 2013-07-29 |
公开(公告)号: | CN103361723A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 曾磊;张澎伟;闫英永;李松松 | 申请(专利权)人: | 山东大海新能源发展有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 257300 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明属于多晶硅铸锭设备技术领域,尤其是一种用于多晶硅定向凝固的石墨助凝块多晶硅锭炉。技术方案:包括炉体,其特征是:炉体内设置保温罩,保温罩放置在炉体内的底板上,保温罩的顶部和侧面设置加热器,保温罩内在底板上设置叠加在一起的两块助凝块,下面的助凝块底面设置为曲面。有益效果:本发明底部石墨助凝块下表面加工成曲面,再自然叠放顶部助凝块,再将坩埚放置于顶部助凝块之上,首先保证了其对坩埚的承重的安全性与可靠性,然后保证了坩埚底部散热的均匀性与有效性,修正了原有较大的横向温度梯度,减少了硅锭的位错密度,同时确保坩埚底部中间区域有较快的冷却速度,进而获得取向较为一致的大尺寸柱状晶粒,显著提高了硅锭的质量。 | ||
搜索关键词: | 石墨 助凝块 多晶 硅锭炉 | ||
【主权项】:
一种石墨助凝块多晶硅锭炉,包括炉体,其特征是:炉体内设置保温罩,保温罩放置在炉体内的底板上,保温罩的顶部和侧面设置加热器,保温罩内在底板上设置叠加在一起的两块助凝块,下面的助凝块底面设置为曲面。
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