[发明专利]石墨助凝块多晶硅锭炉无效

专利信息
申请号: 201310320460.8 申请日: 2013-07-29
公开(公告)号: CN103361723A 公开(公告)日: 2013-10-23
发明(设计)人: 曾磊;张澎伟;闫英永;李松松 申请(专利权)人: 山东大海新能源发展有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 257300 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明属于多晶硅铸锭设备技术领域,尤其是一种用于多晶硅定向凝固的石墨助凝块多晶硅锭炉。技术方案:包括炉体,其特征是:炉体内设置保温罩,保温罩放置在炉体内的底板上,保温罩的顶部和侧面设置加热器,保温罩内在底板上设置叠加在一起的两块助凝块,下面的助凝块底面设置为曲面。有益效果:本发明底部石墨助凝块下表面加工成曲面,再自然叠放顶部助凝块,再将坩埚放置于顶部助凝块之上,首先保证了其对坩埚的承重的安全性与可靠性,然后保证了坩埚底部散热的均匀性与有效性,修正了原有较大的横向温度梯度,减少了硅锭的位错密度,同时确保坩埚底部中间区域有较快的冷却速度,进而获得取向较为一致的大尺寸柱状晶粒,显著提高了硅锭的质量。
搜索关键词: 石墨 助凝块 多晶 硅锭炉
【主权项】:
一种石墨助凝块多晶硅锭炉,包括炉体,其特征是:炉体内设置保温罩,保温罩放置在炉体内的底板上,保温罩的顶部和侧面设置加热器,保温罩内在底板上设置叠加在一起的两块助凝块,下面的助凝块底面设置为曲面。
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