[发明专利]检测微小颗粒大小及形状的光学系统

摘要

本发明公开了一种检测微小颗粒大小及形状的光学系统，激光束经光纤均匀化处理后，形成均匀性良好的平行光束，并通过合理的光路布局沿球面腔镜系统主轴方向射入到球腔镜内，与样气流汇聚于球腔镜的一物点，样气流沿垂直于系统主轴方向导入，粒子前向散射光信号被一光电倍增管接受，用以作为粒子大小测量的主要信号。除前向以外的散射光在大空间角范围内射向球腔镜的像点，在此像点后的物镜像平面上置一面形CCD，主要用于检出粒度的形状信息。本发明布局巧妙，结构合理，工作效果好。

主权项

一种检测微小颗粒大小及形状的光学系统，其特征是：包括球面腔镜，球腔镜由金属制成、且内表面经抛光处理并镀有反射膜，在球腔镜的外框上固装激光器，并经一定光路布局后由光纤均匀性装置形成均匀性良好的平行光束，沿球腔镜的主轴方向入射到光敏区，入射光束与样气流汇于光敏区，即球腔镜的一物点处，前向散射光透过透镜后经第一光阑后被光电倍增管接受，原方向入射光束射入光陷阱；所述光陷阱由金属制成，且内壁涂有吸光材料，并固定在球腔镜的外框体内；除前向散射光外的散射光汇聚于球腔镜上述物点的像点，然后经一透镜后被面形CCD接受，该像点处设有用以防止杂散光进入面形CCD的第二光阑，面形CCD接收的信号经输出后放大、处理。