[发明专利]一种螺旋片簧弹性支承的三维纳米测头有效
| 申请号： | 201310306571.3 | 申请日： | 2013-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN103398805A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 杨洪涛;张东速;张炜;孙帅;方传智;张晶 | 申请（专利权）人： | 安徽理工大学 |
| 主分类号： | G01L1/04 | 分类号： | G01L1/04 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 郭官厚 |
| 地址： | 232001 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种螺旋片簧弹性支承的三维纳米测头，属于测量仪器技术领域。它包括外壳、聚焦测头、测量臂和螺旋片簧弹性支承，其特征在于，所述聚焦测头安装在外壳的上端部，所述测量臂上设有三个平面反射镜，每个平面反射镜之间相隔180度，并且是与聚焦测头一一对应，所述螺旋片簧弹性支承固定在外壳上，处于测头最前端的测球固定安装在测杆上，测杆通过螺纹与连接件的下部相连接。本发明三维纳米测头测量灵敏度高，具有纳米级的测量灵敏度。本发明的三维纳米测头采用螺旋片簧作为弹性支撑，不容易产生塑性变形，长期使用稳定性好。测头的初始测力容易调整，易于保证测头的性能稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 螺旋 弹性 支承 三维 纳米 | ||
【主权项】：
一种螺旋片簧弹性支承的三维纳米测头，包括外壳（1）、聚焦测头（3）、测量臂（4）和螺旋片簧弹性支承（14），其特征在于，所述聚焦测头（3）安装在外壳（1）的上端部，所述测量臂（4）上设有三个平面反射镜（10），每个平面反射镜（10）之间相隔180度。所述螺旋片簧弹性支承（14）固定在外壳（1）上，处于测头最前端的测球（16）固定安装在测杆（15）上，测杆（15）通过螺纹与连接件Ⅱ（13）的下部相连接。
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