[发明专利]一种扫描离子电导显微镜的高频振动夹持器有效
申请号: | 201310263763.0 | 申请日: | 2013-06-27 |
公开(公告)号: | CN103336147A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 庄健;郭仁飞;尚春阳;杨清宇;于德弘 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G01Q30/00 | 分类号: | G01Q30/00;G01Q60/44 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 汪人和 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种扫描离子电导显微镜的高频振动夹持器,包括夹持玻璃微吸管探针的管状夹持套,所述管状夹持套外部设有环形凸缘,环形凸缘下方连接有弹性元件,弹性元件下端固定在固定底板上;所述环形凸缘的上表面放置有环形压电陶瓷片,环形压电陶瓷片固定连接在固定顶板上,固定底板与固定顶板固定连接;环形压电陶瓷片与驱动电路连通后振动,带动管状夹持套和玻璃微吸管探针在垂直方向作高频振动。本发明采用单独驱动的环形压电陶瓷片,驱动环形压电陶瓷片产生振动并带动玻璃微吸管探针在垂直方向作高频振动,可以产生交流反馈信号,从而有效克服离子电流漂移、提高扫描速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 扫描 离子 电导 显微镜 高频 振动 夹持 | ||
【主权项】:
一种扫描离子电导显微镜的高频振动夹持器,其特征在于,包括夹持玻璃微吸管探针(2)的管状夹持套(1),所述管状夹持套(1)外部设有环形凸缘(4),环形凸缘(4)下方连接有弹性元件(5),弹性元件(5)下端固定在固定底板(6)上;所述环形凸缘(4)的上表面放置有环形压电陶瓷片(7),环形压电陶瓷片(7)固定连接在固定顶板(8)上,固定底板(6)与固定顶板(8)固定连接;环形压电陶瓷片(7)与驱动电路连通后振动,带动管状夹持套(1)和玻璃微吸管探针(2)在垂直方向作高频振动。
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