[发明专利]用于高通量X射线源的梯度真空无效
申请号: | 201310258324.0 | 申请日: | 2013-06-26 |
公开(公告)号: | CN103578897A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | K.达米安 | 申请(专利权)人: | 安捷伦科技有限公司 |
主分类号: | H01J35/10 | 分类号: | H01J35/10;H01J35/20 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 封新琴 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种用于生成X射线束(102)的X射线管(100),X射线管(100)包括:可旋转安装的阳极(104),所述可旋转安装的阳极布置和配置成当暴露于电子束(106)时生成X射线;在阳极(104)内的中空空间(108);冷却单元(110),所述冷却单元配置成用于通过中空空间(108)内的流体循环冷却阳极(104);以及真空泵装置(114、136、150),所述真空泵装置配置成用于生成在中空空间(108)内的第一真空(116)和在围绕阳极(104)的空间(112)中的第二真空(118),其中与第二真空(118)相关的压力值低于与第一真空(116)相关的压力值;其中真空泵装置(114、136、150)包括泵(114),所述泵布置成用于形成在第一真空(116)和第二真空(118)之间的连续压力梯度。 | ||
搜索关键词: | 用于 通量 射线 梯度 真空 | ||
【主权项】:
一种用于生成X射线束(102)的X射线管(100),所述X射线管(100)包括:可旋转安装的阳极(104),所述可旋转安装的阳极布置和配置成当暴露于电子束(106)时生成X射线;在所述阳极(104)内的中空空间(108);冷却单元(110),所述冷却单元配置成用于通过所述中空空间(108)内的流体循环冷却所述阳极(104);真空泵装置(114、136、150),所述真空泵装置配置成用于生成在所述中空空间(108)内的第一真空(116)和在围绕所述阳极(104)的空间(112)中的第二真空(118),其中与所述第二真空(118)相关的压力值低于与所述第一真空(116)相关的压力值;其中所述真空泵装置(114、136、150)包括泵(114),所述泵布置成用于形成在所述第一真空(116)和所述第二真空(118)之间的连续压力梯度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安捷伦科技有限公司,未经安捷伦科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310258324.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:取销钳
- 下一篇:一种多功能模块化插排