[发明专利]一种用于行波管的金刚石-电镀铜复合式夹持杆及其制造方法有效
| 申请号： | 201310243953.6 | 申请日： | 2013-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN103325645A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 丁明清;李莉莉;陈波;李力;冯进军 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十二研究所 |
| 主分类号： | H01J23/26 | 分类号： | H01J23/26;H01J23/27;H01J9/00 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 李勤媛 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于行波管的金刚石-电镀铜复合式夹持杆及其制造方法，属于真空电子器件领域。金刚石-电镀铜复合式夹持杆是行波管高频结构中的一个部件，由人工合成的金刚石和电镀铜基底构成，该部件制造的方法是：首先，在硅基片表面形成金刚石晶核，并使用化学气相沉积方法人工合成一层金刚石，将硅腐蚀掉，研磨和抛光金刚石的两个表面，然后在金刚石的一个面上溅射金属化层，放置银铜焊料并在真空炉中进行钎焊操作，再在其表面电镀铜，最后用激光切割加工成金刚石-铜复合式夹持杆。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 行波 金刚石 镀铜 复合 夹持 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于行波管的金刚石‑电镀铜复合式夹持杆,置于高频慢波线与行波管管壳之间，其特征在于，该复合式夹持杆由表面抛光的金刚石矩形截面柱体与同等尺寸电镀铜基底矩形截面柱体平行连接为一体，所述两个矩形截面柱体之间含有金属化层和银铜焊料层。
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