[发明专利]用于测试光阻剥离液中水分含量的溶液及测试方法有效
| 申请号： | 201310232747.5 | 申请日： | 2013-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN103308654A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 徐蕊 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 刘敏 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种用于测试光阻剥离液中水分含量的溶液，所述光阻剥离液中包含有有机脂肪胺，所述测试溶液为芳香族有机酸，其中，通过芳香族有机酸中和有机脂肪胺，使得光阻剥离液呈弱酸性。芳香族有机酸的质量为其当量质量的1.2～1.5倍，所述有机脂肪胺为单乙醇胺，所述芳香族有机酸为苯甲酸或水杨酸。在有机脂肪胺类的剥离液中加入过量的芳香族有机酸类，控制芳香族有机酸与剥离液的比例，在惰性溶剂中预先中和有机脂肪胺，既能保证有机脂肪胺与芳香族有机酸能完全反应，又不会使得芳香族有机酸过量太多以至于影响溶液的PH值，过量的芳香族有机酸不会破坏体系的平衡，避免副反应的发生，量测准确快速，操作简便快速，能节约测试成本和测试时效。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 剥离 水分 含量 溶液 方法 | ||
【主权项】：
一种用于测试光阻剥离液中水分含量的溶液，所述光阻剥离液中包含有有机脂肪胺，其特征在于：所述测试溶液为芳香族有机酸，通过芳香族有机酸中和有机脂肪胺，使得光阻剥离液呈弱酸性。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310232747.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：小型一体化陡前沿脉冲发生装置
- 下一篇：一种多通道多组分固定源采样分析系统
