[发明专利]微机电系统麦克风在审
| 申请号： | 201310206965.1 | 申请日： | 2013-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN104219610A | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 万景明 | 申请（专利权）人： | 山东共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 孙宝海 |
| 地址： | 261206 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机电系统麦克风，涉及麦克风封装技术领域。该麦克风包括：接线板，与接线板结合的外壳，外壳与接线板限定MEMS麦克风的内腔体；位于外壳上的音孔；固定于接线板上的ASIC，ASIC通过金线和接线板电连接；位于内腔体、固定于接线板上的MEMS芯片；位于内腔体外、固定于接线板上的外扩展腔体，外扩展腔体与MEMS芯片的背腔通过接线板上的通孔连通。该麦克风通过扩展腔体等方式，扩展了MEMS背腔的体积，提高了麦克风灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 麦克风 | ||
【主权项】：
一种微机电系统MEMS麦克风，其特征在于，包括：接线板；与所述接线板结合的外壳，所述外壳与所述接线板限定所述MEMS麦克风的内腔体；位于所述外壳上的音孔；固定于所述接线板上的ASIC，所述ASIC通过金线和所述接线板电连接；位于所述内腔体、固定于所述接线板上的MEMS芯片；位于所述内腔体外、固定于所述接线板上的外扩展腔体，所述外扩展腔体与所述MEMS芯片的背腔通过所述接线板上的通孔连通。
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