[发明专利]使用扫描电子显微镜的检查系统有效
| 申请号： | 201310205662.8 | 申请日： | 2013-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN103454295B | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 朴英吉;白原奉;吴基元 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人： | 于未茗,康泉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种使用扫描电子显微镜的检查系统包括扫描电子显微镜室，该扫描电子显微镜室通过使用电子束检查待检查物体并维持真空条件；位于所述扫描电子显微镜室下方以与所述扫描电子显微镜室分离并安装有待检查物体的台架；以及用于在所述台架上方传送所述扫描电子显微镜室的横向导向部。在所述扫描电子显微镜室与待检查物体之间维持大气条件。相应地，待检查物体，尤其是大尺寸的待检查物体可被检查，而不会损坏待检查物体，从而可实现费用的减少和产量的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 扫描 电子显微镜 检查 系统 | ||
【主权项】：
一种使用扫描电子显微镜的检查系统，该检查系统包括：扫描电子显微镜室，被设置为通过电子束检查待检查物体并维持真空条件，所述扫描电子显微镜室包括面对所述待检查物体的膜；位于所述扫描电子显微镜室下方以便支撑所述待检查物体的台架，所述台架与所述扫描电子显微镜室分开；被设置为在所述台架上方传送所述扫描电子显微镜室的横向导向部；膜颗粒检查和去除设备，被设置为检查设置在所述膜上的颗粒并从所述膜去除所述颗粒，其中在所述扫描电子显微镜室与所述待检查物体之间维持大气条件。
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