[发明专利]用于检验支承件或基片上的电子部件的设备和方法在审
申请号: | 201310196875.9 | 申请日: | 2013-05-24 |
公开(公告)号: | CN103605009A | 公开(公告)日: | 2014-02-26 |
发明(设计)人: | A·纳吉;P·卡拉曼;C·塞古纳;T·喀什尔;M·科勒;J·闵文根 | 申请(专利权)人: | 马提特斯电子系统有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R35/00 |
代理公司: | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人: | 徐江华 |
地址: | 德国罗森*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明基于一种用于检验支承件(7)或基片(13)上的电子部件(9、10)的设备,带有用于支承件(7)或基片(13)的定位和保持装置(6),带有测试头(1)和与之连接的检验座(3、14),使得支承件(7)或基片(13)上的多个电子部件(9)可同时接触。根据本发明,至少一个另外的检验座(4、12)与测试头(1)连接。 | ||
搜索关键词: | 用于 检验 支承 基片上 电子 部件 设备 方法 | ||
【主权项】:
一种用于检验支承件(7)或基片(13)上的电子部件(9)的设备,带有用于支承件(7)或基片(13)的定位和保持装置(6),带有测试头(1)和与之连接的检验座(3、14),使得支承件(7)或基片(13)上的多个电子部件(10)可同时接触,其特征在于,至少一个另外的检验座(4、12)与测试头(1)连接。
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