[发明专利]碱土金属氧化物-聚合物抛光垫有效

专利信息
申请号: 201310168375.4 申请日: 2013-05-08
公开(公告)号: CN103386653A 公开(公告)日: 2013-11-13
发明(设计)人: D·B·詹姆斯;D·M·阿尔登;A·R·旺克 申请(专利权)人: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
主分类号: B24D3/00 分类号: B24D3/00
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 项丹
地址: 美国特*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明提供一种抛光垫,所述抛光垫用于抛光半导体基片、磁性基片和光学基片中的至少一种。所述抛光垫包含聚合物基质,所述聚合物基质具有抛光表面。此外,聚合物微元件分布在所述聚合物基质中和所述聚合物基质的抛光表面上。所述聚合物微元件具有外表面并且被流体填充从而在抛光表面产生纹理。含碱土金属氧化物区域分布在各聚合物微元件中,被分隔开,以覆盖聚合物微元件小于50%的外表面。
搜索关键词: 碱土金属 氧化物 聚合物 抛光
【主权项】:
一种抛光垫,所述抛光垫用于抛光半导体基片、磁性基片和光学基片中的至少一种,所述抛光垫包含:聚合物基质,所述聚合物基质具有抛光表面;聚合物微元件,所述聚合物微元件分布在所述聚合物基质中和所述聚合物基质的抛光表面上;所述聚合物微元件具有外表面并且被流体填充从而在抛光表面产生纹理;以及分布在各聚合物微元件中的含碱土金属氧化物区域,所述含碱土金属氧化物区域被分隔开,以覆盖聚合物微元件小于50%的外表面;并且总量小于0.1重量%的聚合物微元件与以下组分相结合:i)粒度大于5μm的含碱土金属氧化物颗粒;ii)覆盖了聚合物微元件超过50%的外表面的含碱土金属氧化物区域;以及iii)聚合物微元件,所述聚合物微元件与含碱土金属氧化物颗粒团聚至平均簇尺寸大于120μm。
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  • 李学崑;张树波;郭国强;田晨晨;王立平 - 清华大学;上海航天精密机械研究所
  • 2017-12-08 - 2018-11-23 - B24D3/00
  • 本实用新型公开了一种具有随机多孔结构金属结合剂砂轮,所述金属结合剂砂轮包括砂轮基体和套设在所述砂轮基体外侧的砂轮磨削主体,所述砂轮磨削主体具有随机多孔结构,所述随机多孔结构通过三维建模软件生成,所述砂轮磨削主体通过选择性激光烧结制成,所述随机多孔结构的体积与所述砂轮磨削主体的体积之比的范围为10%~50%,所述砂轮磨削主体包括磨粒、金属粉末和填充剂。根据本实用新型实施例的金属结合剂砂轮,气孔率高,由此可以改善磨削区域散热,减少磨削烧伤,提高磨削表面质量。
  • 一种用于制造砂轮的材料及砂轮的制造方法-201611183568.7
  • 钟华山;王聪奎 - 深圳市鑫金泉钻石刀具有限公司
  • 2016-12-20 - 2018-11-20 - B24D3/00
  • 本发明涉及一种用于制造砂轮的材料及砂轮的制造方法,包括以下质量百分比的物料:磨料70%‑80%,粘接剂20%‑30%;所述磨料中的各成分按以下质量百分比混合而成:铅粉72%‑92%,钻石粉5%‑15%,蓝蜡粉3%‑13%;所述粘接剂为酚醛树脂、糠醛、二丁酯按以下质量百分比混合而成:酚醛树脂、糠醛、二丁酯。将铅粉,钻石粉,蓝蜡粉作为磨料,其中铅具有硬度低能够比较均匀的对磨刀盘进行研磨,同时不易刮花磨刀盘;而钻石粉则能够提高砂轮的磨削力,提高研磨速度;蓝蜡能增加抛光效果,提高磨刀盘的光洁度。通过该材料制造的砂轮来修复磨刀盘,使磨刀盘粗糙度均匀,光洁度高,有利于磨削出高精度的刀具。
  • 一种磨料磨具及制造方法-201310752925.7
  • 陈国栋;王灿锋;周桢 - 圣戈班磨料磨具有限公司;法国圣戈班磨料磨具公司
  • 2013-12-31 - 2018-11-16 - B24D3/00
  • 本发明涉及一种磨料磨具及其制造方法。所述磨料磨具包括研磨主体,所述研磨主体具体包括包含在结合剂内的磨粒,以及在结合剂内的填料组分。填料组分可以包括至少一种第一活性填料,其选自第一组活性填料,第一组活性填料可以包括碱金属化合物。填料组分可以进一步包括至少一种第二活性填料,其选自第二组活性填料,第二组活性填料可以包括过渡金属化合物。该磨料磨具可以进一步包括至少约0.4的活性填料比率(Af1\Af2),其中Af1表示第一活性填料的含量,而Af2表示第二活性填料的含量。
  • 重新使用研磨工具的方法-201780017779.X
  • 马克西米利安·比特纳;弗兰克·齐希 - 蒂森克虏伯股份公司
  • 2017-03-10 - 2018-11-09 - B24D3/00
  • 本发明涉及一种用于重新使用研磨工具(1)的方法,该研磨工具(1)包括工具基体(10),该工具基体包括用于接纳研磨体(12)的至少一个接纳表面(11),研磨体(12)借助于粘合剂(13)而粘接至所述接纳表面(11)。根据本发明,该方法包括至少以下步骤:使粘合剂(13’)变质;将已磨损的研磨体(12’)从工具基体(10)移除;将已变质的粘合剂(13’)从工具基体(10)移除;重新施加粘合剂(13);以及通过新的研磨体(12)重新使用工具基体(10)。
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