[发明专利]一种薄膜表面纳米刻划与摩擦粘滑特性测试装置

摘要

本发明公开了一种薄膜表面纳米刻划与摩擦粘滑特性测试装置，包括基座，基座上安装有用于放置检测样本的压电式运动平台，以及能够垂直和水平移动的位移台，位移台上安装有传感器固定器，传感器固定器的前端固定安装有纳米刻划与粘滑测试传感器，纳米刻划与粘滑测试传感器的刻划头位于压电式运动平台的正上方，基座上还安装有光学成像系统。本发明将运动平台与传感器有机结合，通过不同的运动控制方式，一方面可完成薄膜纳米刻划实验，弥补了AFM纳米刻划装置加载范围局限且难于控制、对样品表面粗糙度要求高等不足；另一方面可完成刻划过程中薄膜表面摩擦粘滑性能的在线检测，克服了高刚度摩擦试验机无法反映表面摩擦粘滑特性的缺点。

主权项

一种薄膜表面纳米刻划与摩擦粘滑特性测试装置，其特征在于，包括基座（1），基座（1）上安装有用于放置检测样本的压电式运动平台（2），以及能够垂直和水平移动的位移台（3），位移台（3）上安装有传感器固定器（4），传感器固定器（4）的前端固定安装有纳米刻划与粘滑测试传感器（5），基座（1）上还安装有光学成像系统（6），其中，纳米刻划与粘滑测试传感器（5）包括：带有刻划头（501）的刻划头夹持块（502），刻划头（501）位于压电式运动平台（2）的正上方，刻划头夹持块（502）通过切向臂（504）和法向臂（507）与感器固定器（4）相连接，且切向臂（504）和法向臂（507）上对应贴附有切向力电阻应变片（505）和法向力电阻应变片（508）。