[发明专利]柔性基底薄膜表面微结构的形成方法有效
| 申请号： | 201310088719.0 | 申请日： | 2013-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN103204459A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 殷雅俊;吴丹;谢惠民 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种柔性基底薄膜表面微结构的形成方法，包括：绘制曲线图形并制备光刻掩膜；利用光刻掩膜，光刻石英玻璃；在图形化的石英玻璃上浇铸柔性基底预聚体，然后固化得到图形化的柔性基底并剥离；以及在图形化的柔性基底上镀金属膜。本发明在柔性基底材料表面形成曲线结构，再在基底上镀膜，由于温度变化产生热应力，曲线结构引导薄膜内的应力分布，可以通过设计不同曲率、间距和形状的曲线结构，控制褶皱屈曲发生的区域和幅度，该方法操作简单，易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 基底 薄膜 表面 微结构 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种柔性基底薄膜表面微结构的形成方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：绘制曲线图形并制备光刻掩膜；S2：利用所述光刻掩膜，光刻石英玻璃；S3：在图形化的石英玻璃上浇铸柔性基底预聚体，然后固化得到图形化的柔性基底并剥离；以及S4：在图形化的柔性基底上镀金属膜。
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