[发明专利]带在线检测的光学元件激光预处理及修复的方法及装置

摘要

本发明公开了一种带在线检测的光学元件激光预处理及修复的方法及装置，在激光处理或激光修复系统中引入非接触式在线检测系统，用于对光学元件的激光处理区域或者激光修复区域进行在线检测，确保处理和修复达到预期效果，无需再通过后续破坏实验来验证处理和修复效果，大大简化了大口径光学元件的加工制作过程，也大大节约了成本。本发明可以用于熔融石英、KDP晶体、BK7玻璃、以及各类其他激光材料及薄膜的激光预处理、激光损伤点修复等领域，特别适用于超大型激光系统中的大口径光学元件表面及亚表面缺陷点的激光预处理，以及表面及亚表面激光损伤点的激光修复。

主权项

带有在线检测的光学元件激光预处理及修复的方法，所述的光学元件激光预处理方法即采用激光对光学元件的表面进行激光辐照以清除元件表面容易引起激光损伤的缺陷和污染，所述的光学元件激光修复方法即采用激光对光学元件表面及亚表面已经被激光损伤的破坏点进行修复，以便破坏点性能能够稳定下来，从而在后续激光辐照过程中相关破坏点能够减慢增长速度甚至不再发生进一步增长，其特征在于：所述的在线检测系统在光学元件进行激光预处理及修复的过程中，同时对光学元件表面及亚表面吸收缺陷及光热缺陷在激光预处理及修复过程中的发展变化进行实时检测。