[发明专利]一种大幅面微孔高速钻孔系统

摘要

本发明涉及一种大幅面微孔高速钻孔系统，包括光束空间调制模块和振镜扫描平场聚焦模块，具体为：采用光束空间调制模块特别是多个透明平板光学元件与振镜扫描平场聚焦模块的组合，光束空间调制模块对激光光束进行空间轨迹调制，振镜扫描平场聚焦模块对激光进行聚焦并负责激光焦点在不同加工位置之间进行快速切换，二者分工与合作，本方案能够在进行大幅面微孔钻孔，大幅提高的激光钻孔效率与钻孔质量，且非常适合钻直孔，且激光光束填充扫描的形状和大小可以动态控制，微孔钻孔孔径大小动态可变，以及具备进行微细结构柔性加工能力。

主权项

一种大幅面微孔高速钻孔系统，其特征在于：包括光束空间调制模块和振镜扫描平场聚焦模块，所述光束空间调制模块包括一个或者多个透明光学元件，每个所述透明光学元件安装在一个与其相对应的驱动装置上，每个所述透明光学元件均可在与其相对应的驱动装置的驱动下独立进行摆动和/或平移的驱动装置；所述光束空间调制模块用于对入射激光束进行空间运动轨迹调制，形成按照设定轨迹运动的第一光束，并将该第一光束发射到所述振镜扫描平场聚焦模块；所述振镜扫描平场聚焦模块，位于所述光束空间调制模块输出第一光束的一侧，用于接收从所述光束空间调制模块输出第一光束，并对第一光束进行聚焦，以形成聚焦光束，并控制所述聚焦光束的激光焦点在不同加工单元之间进行切换或在一个加工单元处对所述聚焦光束的激光焦点扫描运动进行辅助运动控制。