[发明专利]一种紫外光源均光装置有效
| 申请号： | 201310065834.6 | 申请日： | 2013-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN103175608A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 张玉国;孙红胜;魏建强;王加朋;孙广尉;任小婉;宋春晖 | 申请（专利权）人： | 北京振兴计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01J1/08 | 分类号： | G01J1/08;G02B5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及紫外-真空紫外辐射计量测试领域，具体的讲是一种紫外光源均光装置，包括复数个漫射器，驱动单元；每个所述的漫射器用于对特定波段的入射紫外光进行均光和聚焦；所述驱动单元用于根据测试的需要调节相应的漫射器位于光路中。通过本发明实施例，由于采用了工作于110nm-400nm紫外光波段范围的复数个漫射镜均光和聚焦，保证了以点光源或面光源作为紫外光源时的光谱辐照度校准既可以产生很好的余弦校正效应，又能保证系统的信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 光源 装置 | ||
【主权项】：
一种紫外光源均光装置，其特征在于包括：复数个漫射器，驱动单元；每个所述的漫射器用于对特定波段的入射紫外光进行均光和聚焦；所述驱动单元用于根据测试的需要调节相应的漫射器位于光路中。
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