[发明专利]切削工具用金刚石被膜

摘要

本发明提供切削工具用金刚石被膜，其韧性高、紧密接合性好且硬度高，能够大幅提高对超硬合金等极高硬度被切削材料进行切削的工具的工具寿命。切削工具用金刚石被膜是形成在基材上的切削工具用金刚石被膜，包括至少一层以上的多层被膜层[A]，该多层被膜层[A]通过将膜厚1μm以上且15μm以下的被膜层[α]与膜厚1μm以上且20μm以下的被膜层[β]以所述被膜层[α]配置在基材侧且所述被膜层[β]配置在表层侧的方式层叠而构成，该金刚石被膜整体的膜厚设定为4μm以上且30μm以下，所述被膜层[α]以及被膜层[β]具有预定的被膜组织。

主权项

一种切削工具用金刚石被膜，所述切削工具用金刚石被膜形成在基材上，所述切削工具用金刚石被膜的特征在于，所述切削工具用金刚石被膜包括一层以上的多层被膜层[A]，所述多层被膜层[A]通过将膜厚1μm以上且15μm以下的被膜层[α]与膜厚1μm以上且20μm以下的被膜层[β]以如下方式层叠而构成：所述被膜层[α]配置于基材侧、所述被膜层[β]配置于表层侧，所述切削工具用金刚石被膜整体的膜厚设定为4μm以上且30μm以下，而且，在以剖面瞬变电磁法观察所述多层被膜层[A]的剖面时，所述被膜层[α]的结晶与所述被膜层[β]的结晶连续，并且，对于沿着与所述基材表面平行的假想线测定的结晶粒径的平均值，所述被膜层[α]的所述结晶粒径的平均值比所述被膜层[β]的所述结晶粒径的平均值小，所述被膜层[β]的所述结晶粒径的平均值为0.2μm以上且6μm以下，并且，在以扫描电子显微镜法观察所述多层被膜层[A]的断裂面时，所述被膜层[β]的断裂面比所述被膜层[α]的断裂面更光滑，并且，在所述被膜层[β]的断裂面包含在膜厚方向延伸的柱状图案。