[发明专利]193nm波长紫外固体激光器无效

专利信息
申请号: 201310042006.0 申请日: 2013-02-04
公开(公告)号: CN103151694A 公开(公告)日: 2013-06-12
发明(设计)人: 周军;刘厚康;何兵;袁志军;张海波;杨依枫 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: H01S3/109 分类号: H01S3/109
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 张泽纯
地址: 201800 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种193nm波长紫外固体激光器,其构成包括579nm固体激光器,沿该579nm固体激光器的激光输方向依次是第一透镜、第二透镜、倍频晶体、聚焦透镜、和频晶体、准直透镜和紫外镀膜滤光片。与传统的193nm的气体放电ArF准分子激光器相比,本发明具有结构紧凑、成本低、维护方便和性能稳定等优点,可以为光刻系统提供优质的紫外光源。
搜索关键词: 193 nm 波长 紫外 固体激光器
【主权项】:
一种193nm波长紫外固体激光器,特征在于其构成包括579nm固体激光器(1),沿该579nm固体激光器(1)的激光输方向依次是第一透镜(2)、第二透镜(3)、倍频晶体(4)、聚焦透镜(5)、和频晶体(6)、准直透镜(7)和紫外镀膜滤光片(8),由所述的所述的579nm固体激光器(1)输出的波长为579nm的激光经过第一透镜(2)和透镜(3)构成的光学系统后,聚焦到倍频晶体(4)中,得到波长为289.5nm的倍频激光输出,该289.5nm倍频激光和剩余的579nm基频光再经过所述的聚焦透镜(5),聚焦到和频晶体(6)中,将289.5nm激光和579nm激光和频,产生193nm的三倍频激光输出,所述的基频光579nm、倍频光289.5nm和三倍频光193nm经所述的准直透镜(7)准直后,通过所述的紫外镀膜滤光片(8)将基频光579nm、倍频光289.5nm光反射,193nm紫外激光直接输出。
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