[发明专利]集成电微流控探针卡、系统及其使用方法有效
| 申请号： | 201310039862.0 | 申请日： | 2013-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN103803479B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 刘怡劭;赖飞龙;郑创仁;郑钧文 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 | 代理人： | 章社杲,孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种生物场效应晶体管(BioFET)设备的测试和处理方法、系统和装置。晶圆级生物传感器处理工具包括晶圆载物台、集成电微流控探针卡以及流体供应器和回流器。该集成电微流控探针卡包括流控底座(其可以为透明的)、流控底座中的微流体通道、位于流控底座的底部的至少一个微流控探针和多个电探针顶端、位于流控底座的侧部的流体和电子输入口和输出口以及位于流控底座上的至少一个操作凸缘。该方法包括对准晶圆、安装集成电微流控探针卡、使测试流体流动以及测试电气性能。该工具还可以用于标识或标记晶圆上的设备区中的流体。本发明还提供了一种集成电微流控探针卡、系统及其使用方法。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 电微流控 探针 系统 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种集成电微流控探针卡，包括：透明流控底座，所述流控底座具有第一主面和第二主面以及位于所述第一主面和所述第二主面之间的至少一个副面；多个微流体通道，位于所述流控底座中；至少一个微流控探针和多个电探针顶端，布置在所述第一主面上，所述至少一个微流控探针连接至所述多个微流体通道中的至少一个；至少一个流体入口和至少一个流体出口，位于所述流控底座的一个或多个副面上；输入/输出电端口，位于所述流控底座上，电连接至所述多个电探针顶端；以及一个或多个操作凸缘，附接至所述流控底座。
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