[发明专利]基于被测表面荧光激发的差动共焦显微测量装置有效
| 申请号： | 201310033429.6 | 申请日： | 2013-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN103105143A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;谭久彬;王伟波;张拓 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 基于被测表面荧光激发的差动共焦显微测量装置属于表面形貌测量技术领域；该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的准直扩束器和偏振分光镜；配置在偏振分光镜反射光路上的四分之一波片、探测物镜和被测件；配置在偏振分光镜透射光路上的收集物镜、分光镜、第二针孔和第二探测器；配置在分光镜反射光路上的第一针孔和第一探测器；所述的第一、二探测器分别配备有第一、二窄带滤光片；被测件表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜并由微位移载物台承载；这种设计，保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统，解决了高NA和高斜率表面检测的难题，适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 表面 荧光 激发 差动 显微 测量 装置 | ||
【主权项】：
基于被测表面荧光激发的差动共焦显微测量装置，其特征在于包括激光器（1）、沿光线传播方向配置在激光器（1）直射光路上的准直扩束器（2）和偏振分光镜（3）；配置在偏振分光镜（3）反射光路上的四分之一波片（4）、探测物镜（5）和被测件（6）；配置在偏振分光镜（3）透射光路上的收集物镜（8）、分光镜（9）、第二针孔（12）和第二探测器（13）；配置在分光镜（9）反射光路上的第一针孔（10）和第一探测器（11）；所述的第一探测器（11）配备有第一窄带滤光片、第二探测器（13）配备有第二窄带滤光片；所述的被测件（6）由微位移载物台（7）承载，表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学，未经哈尔滨工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310033429.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
