[发明专利]一种在晶硅太阳能电池表面上制备氧化铝钝化薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种涉及在晶硅太阳能电池表面上镀氧化铝钝化薄膜的方法，该方法是在晶硅太阳能电池表面镀一层氧化铝薄膜，其步骤包括：（1）材料的选择，铝来源为氯化铝，以无水乙醇与其发生反应。（2）铝溶胶的制备，将氯化铝材料溶解于一定浓度的无水乙醇中，充分搅拌震荡直至溶液变澄清为止，并调节其溶胶pH值在1~2之间。（3）氧化铝钝化薄膜的制备，将制备的铝溶胶滴在晶硅太阳能电池表面并旋涂，然后将旋涂好的样品烘干，在一定条件下退火，退火完毕后均匀冷却至常温。由此在晶硅太阳能电池表面制备一层氧化铝钝化薄膜，该薄膜对晶硅太阳能电池具有较好的钝化效果。本发明采用的化学溶液沉积法简单易行、成本低廉。衬底选择为晶硅太阳能电池，氧化铝薄膜对晶硅太阳能电池具有优异的钝化效果。

主权项

一种在晶硅太阳能电池表面上制备氧化铝钝化薄膜的方法，其特征在于，通过在晶体硅太阳能电池上沉积一层氧化铝薄膜；其制备步骤为：（1）材料的选择，本发明最初的铝来源为氯化铝，用无水乙醇与其发生反应；（2）铝溶胶的制备，在通风条件下，将氯化铝材料溶解于一定浓度的无水乙醇中，充分搅拌震荡直至溶液变的澄清为止，以便溶胶达到均一透明，并调节其溶胶PH值在1~2之间；（3）氧化铝钝化薄膜的制备，将制备的铝溶胶旋涂于晶硅太阳能电池表面，首先在转速约为400~1000rpm条件下旋涂约10s，然后在转速为4000~6000rpm条件下旋涂约30s，将旋涂好的样品置于烘干箱内，在约80℃条件下干燥大概30min，最后在一定条件下退火，退火温度在300~500℃左右，退火时的保护气体为氮气，退火完毕后均匀冷却至常温；由此在衬底为晶硅太阳能电池表面上镀的氧化铝薄膜对晶硅太阳能电池具有优异的钝化效果，能够进一步提升晶硅太阳能电池的转换效率。