[发明专利]基板生产状况监视装置

摘要

本发明的基板生产状况监视装置具备：相机部，设于对基板实施预定作业的基板用作业设备，以动画方式拍摄作业的实施状况并输出动画数据；数据操作部，接收、保存并显示动画数据；触发事件检测部，在基板用作业设备内将变化事件及错误前兆事件中的至少一方作为触发事件进行检测，该变化事件是作业的实施条件发生变化的事件，该错误前兆事件是表示作业出现作业错误的前兆的事件；及拍摄开始单元，当触发事件检测部检测出触发事件时，使相机部开始动画拍摄，并使该动画数据以预定数据长度单位而临时存储于数据操作部。由此，能够将作业错误防患于未然，能够减少用于保存动画数据的存储器装置的存储容量，能够在产生了作业错误、其前兆事件时高效地应对。

主权项

一种基板生产状况监视装置，具备：相机部，设于对基板实施预定作业的基板用作业设备，以动画方式拍摄所述作业的实施状况并输出动画数据；数据操作部，接收、保存并显示所述动画数据；触发事件检测部，在所述基板用作业设备内将变化事件及错误前兆事件中的至少一方作为触发事件进行检测，所述变化事件是所述作业的实施条件发生变化的事件，所述错误前兆事件是表示所述作业出现作业错误的前兆的事件；及拍摄开始单元，当所述触发事件检测部检测出所述触发事件时，使所述相机部开始进行动画拍摄，并使所述动画数据以预定数据长度单位而临时存储于所述数据操作部。