[发明专利]元件供给装置在审
申请号: | 201280076708.4 | 申请日: | 2012-10-29 |
公开(公告)号: | CN104770075A | 公开(公告)日: | 2015-07-08 |
发明(设计)人: | 清水利律;大桥广康;山崎敏彦;村井正树 | 申请(专利权)人: | 富士机械制造株式会社 |
主分类号: | H05K13/02 | 分类号: | H05K13/02;H01L21/677 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 穆德骏;谢丽娜 |
地址: | 日本爱知*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 元件供给装置具有载置晶圆片的工作台和吸附载置于工作台的晶圆片上的元件的吸附头。吸附头具有多个元件供给侧吸嘴和切换机构,该切换机构将多个元件供给侧吸嘴在多个元件供给侧吸嘴的前端朝向下方的吸附位置和使多个元件供给侧吸嘴的前端朝向上方的交接位置之间进行切换。多个元件供给侧吸嘴的配置与配备于安装机的安装头上的多个安装机侧吸嘴的配置相对应。 | ||
搜索关键词: | 元件 供给 装置 | ||
【主权项】:
一种元件供给装置,与具有向基板上安装元件的安装头的安装机相邻配置,向所述安装机供给所述元件,其中,所述元件供给装置具有:晶圆片补给部,被补给在薄片上配置有多个元件的晶圆片;及晶圆片搬运部,搬运向所述晶圆片补给部补给的晶圆片,所述晶圆片搬运部具有:工作台,载置所述晶圆片;及吸附头,吸附载置于所述工作台的所述晶圆片上的元件,所述吸附头具有:多个元件供给侧吸嘴;及切换机构,将所述多个元件供给侧吸嘴在所述多个元件供给侧吸嘴的前端朝向下方的吸附位置和使所述多个元件供给侧吸嘴的前端朝向上方的交接位置之间进行切换,所述多个元件供给侧吸嘴的配置与配备于所述安装机的所述安装头上的多个安装机侧吸嘴的配置相对应。
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