[实用新型]偏晶向晶棒粘接装置有效
申请号: | 201220747487.6 | 申请日: | 2012-12-28 |
公开(公告)号: | CN203007497U | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 于新现 | 申请(专利权)人: | 西安神光安瑞光电科技有限公司;西安神光皓瑞光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B33/06 | 分类号: | C30B33/06 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 周耀君 |
地址: | 710100 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种偏晶向晶棒粘接装置,所述偏晶向晶棒粘接装置包括:平台;设置于所述平台上的粘接台;设置于所述平台上的导向台;多个固定所述晶棒的固定夹,多个所述固定夹均能够沿着导向台运动;及检测晶棒偏置的二维倾角仪;当进行晶棒粘接时,所述二维倾角仪置于待粘接的晶棒一端。在此,利用二维倾角仪对晶棒进行偏置、利用多个固定夹固定多根晶棒,其中,每个固定夹固定一根晶棒;每个固定夹沿着导向台运动到一定位置后停止;粘接台粘接多个固定夹中的多根晶棒,由此,可方便地实现对晶棒进行一定的偏置后粘接,得到偏晶向晶棒,即简化了晶棒粘接工艺,提高了晶棒粘接效率,从而降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 晶棒粘接 装置 | ||
【主权项】:
一种偏晶向晶棒粘接装置,其特征在于,包括:平台;设置于所述平台上的粘接台;设置于所述平台上的导向台;多个固定所述晶棒的固定夹,多个所述固定夹均能够沿着导向台运动;及检测晶棒偏置的二维倾角仪;当进行晶棒粘接时,所述二维倾角仪置于待粘接的晶棒一端。
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