[实用新型]一种高灵敏度压电式硅麦克风有效
| 申请号： | 201220739069.2 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN203027480U | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 缪建民 | 申请（专利权）人： | 缪建民 |
| 主分类号： | H04R17/00 | 分类号： | H04R17/00 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 江苏省无锡市滨湖区高浪路999号*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高灵敏度压电式硅麦克风，其压电式硅麦克风包括基底、弹性支撑层、压电薄膜部分和电极部分；所述基底中形成有穿孔，弹性支撑层覆盖于基底表面，压电薄膜部分位于弹性支撑层上，所属压电薄膜部分包括过渡层和压电功能层两部分，过渡层使得其上的压电功能层无裂缝，电极部分包括两电极、电极引线和电极端子，电极部分位于同一平面内，位于压电薄膜部分的上表面，两电极为双螺旋结构，所述两电极位于穿孔区域的正上方，电极端子和电极引线将电极上的信号引出，实现与放大电路的电连接。其优点是：本实用新型采用双螺旋电极设计，使得压电薄膜沿面内极化，利用压电薄膜的d33模式，提高了压电式硅麦克风的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 压电 麦克风 | ||
【主权项】：
一种高灵敏度压电式硅麦克风，包括基底（1）、弹性支撑层（2）、第一电极（4）、第二电极（7）、压电薄膜部分（10），其特征是：所述弹性支撑层（2）覆盖在整个基底（1）表面，压电薄膜部分（10）覆盖在弹性支撑层（2）上，压电薄膜部分（10）自下而上包括过渡层（11）和压电功能层（12）；基底（1）中刻蚀有孔（3），孔（3）贯穿基底（1）直通弹性支撑层（2），第一电极（4）和第二电极（7）成双螺旋结构，位于同一平面，制作于压电功能层（12）的上表面且位于孔（3）的正上方。
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