[实用新型]一种用于清洗铌酸锂基片的装置有效
申请号: | 201220686281.7 | 申请日: | 2012-12-13 |
公开(公告)号: | CN203018414U | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 陈延清;张海林;黄念青 | 申请(专利权)人: | 上海亨通光电科技有限公司 |
主分类号: | B08B13/00 | 分类号: | B08B13/00;B08B3/08 |
代理公司: | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人: | 徐小蓉 |
地址: | 200436 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及基片清洗领域,具体涉及一种用于清洗铌酸锂基片的装置。其具体方案如下:该清洗装置为一圆柱形开放式空腔,在空腔的内壁面上开设有插槽,同时在空腔的开口侧面上设置有定位栓用以固定其后插入的基片。本实用新型的优点是,清洗效率高,清洗洁净度高,并且操作简便。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 清洗 铌酸锂基片 装置 | ||
【主权项】:
一种用于清洗铌酸锂基片的装置,其特征在于所述装置为一开放式空腔,在所述空腔内壁上开设有插槽,同时在所述空腔的开口侧面上设置有可拆卸的定位栓。
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