[实用新型]制备涂层、薄膜或复合材料的装置

摘要

本实用新型适用于薄膜、镀层或者复合材料的制备领域，提供了一种制备涂层、薄膜或复合材料的装置。包括：溶液槽、待沉积溶液冷却装置、沉积槽、高压循环泵、冷却槽、电极发生装置和超声波发生装置；溶液槽和待沉积溶液冷却装置之间有输出管，待沉积溶液冷却装置和沉积槽之间有进液管，沉积槽和和溶液槽之间有回流管，高压循环泵设置在回流管上。电极发生装置设置在沉积槽内，超声波发生装置设置在冷却槽内。本实用新型所制涂层或薄膜组成、结构、形貌更丰富，涂层或薄膜与产品的结合力更高。

主权项

一种制备涂层、薄膜或复合材料的装置，其特征在于，包括：盛装有待沉积溶液的溶液槽、待沉积溶液冷却装置、沉积槽、盛装有冷却液的冷却槽；所述溶液槽和所述待沉积溶液冷却装置之间连接有输出管，所述待沉积溶液冷却装置和所述沉积槽之间连接有进液管，所述沉积槽和所述溶液槽连接有回流管；该回流管管路上设有高压循环泵，所述沉积槽设置于所述冷却槽内，所述沉积槽内还设有电极发生装置，所述冷却槽内还设有超声波发生装置。