[实用新型]一种微型光谱仪有效
| 申请号： | 201220465465.0 | 申请日： | 2012-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN202770763U | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 吴砺;林磊;林志强;凌吉武;张新汉 | 申请（专利权）人： | 福州高意光学有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01J3/28 |
| 代理公司： | 福建炼海律师事务所 35215 | 代理人： | 许育辉 |
| 地址： | 350001 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光学检测领域，公开了一种微型光谱仪，包括输入端、准直单元、光栅组、MEMS反射镜、光会聚元件、光栏、光探测器和微驱动单元；光栅组包括多个不同波段的光栅；微驱动单元带动光栅组切换使用不同波段的光栅工作；检测光由输入端输入，经准直单元准直之后入射到光栅组的光栅上，经光栅色散，不同波长的检测光分别以不同的角度入射到MEMS反射镜上，再以不同的角度被反射到光会聚元件上，不同波长的检测光被会聚并入射到光栏上，最后经光栏选择的光谱由光探测器接收。本实用新型通过微型步进电机转动或平移一组光栅，以增加微型光谱仪检测光谱范围，使其光谱检测范围达到传统大型光谱仪的光谱检测范围，且提高了分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 光谱仪 | ||
【主权项】：
一种微型光谱仪，包括输入端、准直单元、光栅组、MEMS反射镜、光会聚元件、光栏和光探测器，其特征在于：还包括微驱动单元；所述光栅组包括多个不同波段的光栅；微驱动单元带动光栅组切换使用不同波段的光栅工作；检测光由输入端输入，经准直单元准直之后入射到光栅组的光栅上，经光栅色散，不同波长的检测光分别以不同的角度入射到MEMS反射镜上，再以不同的角度被反射到光会聚元件上，不同波长的检测光被会聚并入射到光栏上，最后经光栏选择的光谱由光探测器接收。
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