[实用新型]一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀

摘要

本实用新型公开了一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀，包括下阀体（1）、依次压叠在下阀体（1）上的基片（3）、上阀体（4）和平面螺旋线圈（6），下阀体的底部沿径向方向分别设有进液流道（2）和出液流道（11），下阀体的上部设有液体腔（13），进液流道（2）设有垂直向上的与液体腔连通的流道口，出液流道（11）与所述液体腔连通；基片（3）上表面镀有具有逆磁致伸缩效应薄膜（7），下表面镀有具有正磁致伸缩效应薄膜（9）；平面螺旋线圈（6）通电后，磁致伸缩薄膜驱动器在激励磁场的作用下发生形变向上弯曲，使得工作流体通道打开，实现液压系统回路的通断。本实用新型具有体积小、易于微型化、响应速度快、可控性强等特点。

主权项

一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀，其特征是包括下阀体（1）、依次压叠在下阀体（1）上的基片（3）、上阀体（4）和平面螺旋线圈（6）；所述下阀体的底部沿径向方向分别设有进液流道（2）和出液流道（11），下阀体的上部设有液体腔（13），所述进液流道（2）在位于下阀体中心处设有垂直向上的与液体腔（13）连通的流道口（8），所述流道口（8）凸伸于所述液体腔的底面；所述出液流道（11）与所述液体腔连通；所述基片（3）上表面镀有具有逆磁致伸缩效应薄膜（7），下表面镀有具有正磁致伸缩效应薄膜（9），所述基片（3），与下阀体液体腔（13）构成封闭空间并与所述流道口形成启闭，与上阀体（4）形成空气腔（10）；所述平面螺旋线圈（6）紧贴在上阀体（4）的上表面为超磁致伸缩薄膜提供驱动磁场，平面螺旋线圈（6）上涂有绝缘保护层（5）。