[实用新型]一种薄膜烧蚀传感器有效
| 申请号： | 201220445148.2 | 申请日： | 2012-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN202814904U | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 景涛;王玉明;程文进;王栋;何峰;任伟 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜烧蚀传感器，所述薄膜烧蚀传感器包括基底，设于基底上的过渡层，设于过渡层上的烧蚀电阻；所述烧蚀电阻包括引线焊接盘区；所述引线焊接盘区通过引线与转接板连接；所述烧蚀电阻上设有保护膜；所述基底上设有高度调节孔。本实用新型采用微机械加工技术制备该薄膜烧蚀传感器。根据本实用新型的薄膜烧蚀传感器制造工艺简单，可满足不同的测量精度要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 传感器 | ||
【主权项】：
一种薄膜烧蚀传感器，其特征在于，所述薄膜烧蚀传感器（1）包括基底（2），设于基底（2）上的过渡层（3），设于过渡层（3）上的烧蚀电阻（4）；所述烧蚀电阻（4）上设有保护膜（6）；所述烧蚀电阻（4）是由两个以上的电阻构成的电阻序列；所述电阻包括引线焊接盘区（5）；所述引线焊接盘区（5）通过引线（10）与转接板（13）连接。
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