[实用新型]基板涂布机有效
申请号: | 201220435447.8 | 申请日: | 2012-08-29 |
公开(公告)号: | CN202823760U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 程建军;陈锐 | 申请(专利权)人: | 东莞市九州浩德新能源设备有限公司 |
主分类号: | B05C5/00 | 分类号: | B05C5/00;B05C11/10;B05C13/02 |
代理公司: | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人: | 汪丽 |
地址: | 523726 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种基板涂布机,包括涂布模头、基板支撑平台、供料装置、平台移动装置、真空吸附装置、控制系统,涂布模头与供料装置相连接;涂布模头与供料装置固接在固定平台上;待涂布的基板放置在基板支撑平台的支撑面上,支撑面上开设有通孔,通孔与真空吸附装置相连通;控制系统与涂布模头、基板支撑平台、供料装置、平台移动装置、真空吸附装置通信连接,控制各部件的工作,实施本实用新型的基板涂布机通过采用构造、精度、维护性优异的喷嘴可以对小型基板到大型基板,均能实现超高精度的均匀涂布。 | ||
搜索关键词: | 基板涂布机 | ||
【主权项】:
一种基板涂布机,包括用于承接待涂布基板的基板支撑平台(300)和用于向涂布基板喷涂涂料的涂布模头(100),其特征在于,所述基板涂布机还包括用于产生真空或低气压环境的真空吸附装置、用于驱动所述涂布模头(100)相对于所述基板支撑平台(300)水平移动的平台移动装置(400);所述基板支撑平台上开设有多个通孔,所述通孔与所述真空吸附装置相连通。
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