[实用新型]微粒清除装置有效
| 申请号： | 201220314669.4 | 申请日： | 2012-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN202638805U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 张学良;高海林 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/04 | 分类号： | B08B5/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种微粒清除装置，包括控制面板、吸气马达、清洁装置、吸气管道、吸嘴和吸嘴位置调节装置，所述吸气马达通过所述控制面板控制其吸力的大小，所述吸气马达与所述清洁装置连接，所述清洁装置通过所述吸气管道与所述吸嘴连接，所述吸嘴安装在所述吸嘴位置调节装置上。本实用新型通过吸气马达与吸嘴等设备的引入，将微粒吸入所述清洁装置中，进而通过将清洁装置进行拆卸清理，完成对微粒的清除，同时通过所述吸嘴调节装置，使得吸嘴可以在水平方向和垂直方向任意移动，从而能够使得微粒的清除更全方位，效果更佳，本实用新型利用装置代替了纯手工的清理程序，简单有效准确地清除了晶圆上的微粒。 | ||
| 搜索关键词： | 微粒 清除 装置 | ||
【主权项】：
一种微粒清除装置，其特征在于：包括控制面板、吸气马达、清洁装置、吸气管道、吸嘴和吸嘴位置调节装置，所述吸气马达通过所述控制面板控制其吸力的大小与开关，所述吸气马达与所述清洁装置连接，所述清洁装置通过所述吸气管道与所述吸嘴连接，所述吸嘴安装在所述吸嘴位置调节装置上。
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